通过探针在轻敲模式下高频振荡，与样品表面发生间歇性接触。利用每次接触时耗散的能量，使材料发生塑性变形、被挤出或在针尖处堆积，从而实现材料的去除或图案化。这种方法能有效减少探针磨损。主要适用于在聚合物（如PMMA） 等软材料上高效制备纳米结构。例如，可以制造纳米凹坑、纳米沟槽，甚至用于原子及近原子尺度制造（ACSM）的研究，探究材料在高应变率下的机械行为
通过探针在轻敲模式下高频振荡，与样品表面发生间歇性接触。利用每次接触时耗散的能量，使材料发生塑性变形、被挤出或在针尖处堆积，从而实现材料的去除或图案化。这种方法能有效减少探针磨损。主要适用于在聚合物（如PMMA） 等软材料上高效制备纳米结构。例如，可以制造纳米凹坑、纳米沟槽，甚至用于原子及近原子尺度制造（ACSM）的研究，探究材料在高应变率下的机械行为