MX-Max原子力显微镜为工业界和科研界纳米领域的研究者带来了全新的应用体验。MX-Max可适用最大300mm晶圆样品的扫描，满足半导体在设计、分析和质量控制方面的多样化需求。其测试功能强大，操作简便易行，在学术研究和工业研发领域兼具出色的通用性，确保客户高效完成检测任务。
支持各种AFM成像模式
扫描范围可达100μm，使用单一扫描器可以实现任何扫描范围的成像
针尖和样品之间的开放式空间，可以进行各种标准实验，也可以自行设计实验方案，满足不同研究工作的需求
可以快速精准的定位到300 mm的样品上任意位置
高分辨率的光学系统可使用户轻松定位到待测区域
用户实用程序脚本提供半自动测量和数据分析
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丰富的拓展功能
具有适当的接口或安装连接设计，方便与外光路进行友好对接，可以与荧光/拉曼和光谱探测设备联用。可配置激光光源为1300nm的激光器。
不论是硬件还是软件都具有及其开放式的构造，因此可以通过一插即用的方式就可轻松实现扩展多种其他部件/功能的目的。如:磁场和液相环境中的测试，高温条件下(精确控温)的测试，纳米操纵，近场光学显微镜技术。这些都能让您在纳米技术的研究方面更上一层楼。
清晰的观察界面
配备可用于样品对准的彩色CCD和样品台位置手动调节装置，手动可调节范围5×5mm。
| 工作模式 | 接触模式 轻敲模式 摩擦力显微镜 相位成像模式 静电力显微镜 磁力显微镜 导电原子力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 压电响应力显微镜 AFM刻蚀 AFM操纵 配备专用液体池，实现液相条件下的AFM测试功能 |
| 扫描范围 | 70μm x 70μm x 5μm |
| 扫描分辨率 | XY≤0.5nm，Z≤0.3nm |
| 噪音水平 | ≤50pm |
| 非线性度 | ≤0.1% |
| 样品台 | 直径：200mm 厚度：10mm 质量：1kg |
| 样品移动范围 | XY≥200mm |
| 光学系统 | 5X，500万像素CCD 视频显微镜辅助观测系统 常规条件下视频显微镜的光学分辨率≤2 μm |
| 控制器 | 6个ADC模数转换器（2个高速） 3个DAC数模转换器（最多6个） 2个独立的数字锁相放大器 4通道同时成像 6个BNC输入/输出信号软件配置接口 |
