在导电探针和样品（需为导电或半导体）之间施加电压，空气中的水分在针尖与样品间形成纳米尺度的水桥。电场引发局域电化学反应，将样品表面氧化，形成氧化物。这些氧化物可后续通过化学方法选择性去除，或将氧化物本身作为结构。广泛用于半导体和金属材料（如硅、钛、石墨烯）的纳米级图案化。可用于制备纳米器件，如石墨烯纳米带、单电子晶体管等。最新的无电极技术甚至可以对绝缘材料（如六方氮化硼） 进行刻蚀。
在导电探针和样品（需为导电或半导体）之间施加电压，空气中的水分在针尖与样品间形成纳米尺度的水桥。电场引发局域电化学反应，将样品表面氧化，形成氧化物。这些氧化物可后续通过化学方法选择性去除，或将氧化物本身作为结构。广泛用于半导体和金属材料（如硅、钛、石墨烯）的纳米级图案化。可用于制备纳米器件，如石墨烯纳米带、单电子晶体管等。最新的无电极技术甚至可以对绝缘材料（如六方氮化硼） 进行刻蚀。