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静电力显微镜（Electrostatic Force Microscopy，EFM）属于扫描探针显微镜范畴，通过测量探针与样品间的库仑相互作用表征表面静电势能、电荷分布及输运特性，可实现纳米级分辨率成像，用于表征样品表面静电势、电场分布、电荷分布、薄膜介电常数等信息。