扫描电容显微镜(SCM)是一种基于原子力显微镜(AFM)技术的高分辨率二维电学特性分析仪器，利用导电探针与样品间的纳米级电容变化来表征半导体材料。工作时施加交直流复合偏压，通过高频谐振电路检测电容和微分电容信号，锁相放大器解析的振幅对应载流子浓度，相位反映掺杂类型。其工作原理是通过接触模式下的高频谐振电路来测量纳米尺度下的电容变化量，分辨率可达1aF。主要用于半导体材料的激活载流子浓度及掺杂分布检测。
扫描电容显微镜(SCM)是一种基于原子力显微镜(AFM)技术的高分辨率二维电学特性分析仪器，利用导电探针与样品间的纳米级电容变化来表征半导体材料。工作时施加交直流复合偏压，通过高频谐振电路检测电容和微分电容信号，锁相放大器解析的振幅对应载流子浓度，相位反映掺杂类型。其工作原理是通过接触模式下的高频谐振电路来测量纳米尺度下的电容变化量，分辨率可达1aF。主要用于半导体材料的激活载流子浓度及掺杂分布检测。