利用一套电子反馈线路控制隧道电流，使其保持恒定。再通过计算机
系统控制针尖在样品表面扫描，即是使针尖沿X、Y两个方向作二维运动。由于要控制隧道电流不变,针尖与样品表面之间的局域高度也会保持不变，因而针尖就会随着样品表面的高低起伏而作相同的起伏运动，高度的信息也就由此反映出来。这就是说，扫描隧道电子显微镜得到了样品表面的三维立体信息。恒流模式获取图像信息全面，显微图象质量高，应用广泛。
利用一套电子反馈线路控制隧道电流，使其保持恒定。再通过计算机
系统控制针尖在样品表面扫描，即是使针尖沿X、Y两个方向作二维运动。由于要控制隧道电流不变,针尖与样品表面之间的局域高度也会保持不变，因而针尖就会随着样品表面的高低起伏而作相同的起伏运动，高度的信息也就由此反映出来。这就是说，扫描隧道电子显微镜得到了样品表面的三维立体信息。恒流模式获取图像信息全面，显微图象质量高，应用广泛。
在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对高度不变；于是针尖与样品表面的局域距离将发生变化，隧道电流 I 的大小也随着发生变化；通过计算机记录隧道电流的变化，并转换成图像信号显示出来，,即得到了扫描隧道电子显微镜显微图。恒高模式仅适用于样品表面较平坦、且组成成分单一。
I(V)谱测量：断开反馈回路，固定针尖位置，通过一系列不同的偏压下得到的隧道电流而形成的曲线。
I(z)谱测量：通过改变针尖的高度得到的一系列的隧道电流而形成的曲线。I(z)谱可检测针尖的质量。