非接触式AFM技术是几种悬臂振动成像技术中的一种，成像时,AFM探针悬臂在样品表面附近处于振动状态。在非接触模式下，系统驱动硬度较高的悬臂在本振频率附近振动(一般为100-400kHz)，振幅为几十至上百埃，并探测悬臂共振频率或振幅的变化。非接触模式下针尖与样品之间的吸引力通常相比接触模式下的排斥力小,并且更难以保持稳定。在非接触模式下,Z向反馈处于启用状态,系统对悬臂的共振频率或振幅的变化进行探测并随着形貌的起伏上下移动扫描管使之保持不变。通过这种方式,针尖一样品间距的平均值同样保持不变,Z向反馈信号用来生成成像所需数据。
